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SiC CMP拋光設(shè)備

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江蘇創(chuàng)生源智能裝備股份有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

江蘇創(chuàng)生源

型號(hào)：

SiC CMP拋光設(shè)備

關(guān)注度：

240

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)配置

系統(tǒng)類型:全自動(dòng)化干燥/干燥晶圓尺寸:150mm或200mm工藝可行·EFEM:2-盒式，傳輸機(jī)器人中間機(jī)器人

產(chǎn)品咨詢

SiC CMP拋光設(shè)備

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SiC CMP拋光設(shè)備 - 240

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