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離子束拋光機(jī)?FiSy IFS1500I

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長沙埃福思科技有限公司

湖南

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品牌：

長沙埃福思

型號：

離子束拋光機(jī)?FiSy IFS1500I

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產(chǎn)品介紹

名稱	參數(shù)
加工能力 (**工件尺寸)	尺寸1500mmx1500mm 厚度500mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等
可加工精度	亞納米加工精度、可實(shí)現(xiàn)面形RMS<1nm超高精度加工
X軸行程	≥1600mm
Y軸行程	≥1600mm
Z軸行程	≥300mm
離子源	德國射頻離子源
中和器	德國
工作真空建立時(shí)間	≤1小時(shí)
副室真空建立時(shí)間	≤15分鐘
保護(hù)功能	具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報(bào)警保護(hù)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)故保護(hù)、離子源故障保護(hù)等
智能功能	具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時(shí)預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能
外形尺寸	6.4m×3.8m×3.3m
整機(jī)重量	16噸
能耗功率	總功率35kW

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離子束拋光機(jī)?FiSy IFS1500I

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