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上海研倍新材料 專業(yè)生產(chǎn)定制 各類靶材 合金靶材

1、產(chǎn)品信息   

2、產(chǎn)品規(guī)格

定制

3、產(chǎn)品概述

氧化鋁Al2O3靶材是一種硬質(zhì)、化學(xué)穩(wěn)定性高的材料，廣泛應(yīng)用于薄膜制備過(guò)程中。它能夠提供穩(wěn)定的濺射源，用于制備具有優(yōu)異物理、化學(xué)性能的薄膜材料。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，氧化鋁靶材用于制造集成電路中的絕緣層和介電層，提高電路的性能和可靠性。在光電器件中，氧化鋁靶材用于制備透明導(dǎo)電膜和抗反射層，提升器件的光電轉(zhuǎn)換效率。

4、產(chǎn)品用途

薄膜沉積：氧化鋁靶材可用于物理氣相沉積 (PVD) 或化學(xué)氣相沉積 (CVD) 過(guò)程，用于制備氧化鋁薄膜，這些薄膜可用于絕緣層、保護(hù)層或介電層。

光學(xué)涂層：氧化鋁靶材可用于制備光學(xué)涂層，如抗反射涂層、反射鏡涂層等。

硬質(zhì)涂層：氧化鋁薄膜可用于制備硬質(zhì)涂層，如陶瓷涂層、刀具涂層等。

電子器件：氧化鋁靶材可用于制備電子器件中的絕緣層或介電層，如集成電路、光電子器件等。

電磁屏蔽：ATO材料對(duì)微波的衰減性使其在計(jì)算機(jī)房、雷達(dá)屏蔽保護(hù)區(qū)等需要屏蔽電磁波的領(lǐng)域有應(yīng)用潛力。

激光吸收材料：ATO納米粉體因其在特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的強(qiáng)吸收能力，可以用作激光吸收材料。