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采用電刷鍍工藝或防腐蝕隔膜工藝生產(chǎn), 防止腐蝕材料對(duì)泵體露點(diǎn)進(jìn)行腐蝕。采用電刷鍍工藝或防腐隔膜工藝，防止泵體露點(diǎn)腐蝕。泵體及氣體接觸部位采用聚四氟乙烯材料，耐強(qiáng)腐蝕性氣體。
　　防腐真空泵結(jié)構(gòu)原理：
　　防腐真空泵工作時(shí)，其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)主泵相連。耐腐蝕真空泵轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子或轉(zhuǎn)子與泵殼之間無(wú)接觸，間隙一般為0.1-0.8mm，無(wú)需油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子和圓弧包括漸開(kāi)線。漸開(kāi)線轉(zhuǎn)子泵容積利用率高，易于保證加工精度，轉(zhuǎn)子型線采用漸開(kāi)線型線。