三位置真空蝶閥

ISO-KF型式3位置真空蝶閥

ISO-F型式3位置真空蝶閥

Htc日揚真空三位置真空蝶閥由旋轉(zhuǎn)氣缸閥驅(qū)動，具有三位置功能，安裝方便，體積小，壽命長，產(chǎn)品出廠全部用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測。三位置真空蝶閥開度可設(shè)定為0-90°，主要應用是在高真空環(huán)境設(shè)備系統(tǒng)過程中完全隔離污染和腐蝕性氣體。 真空蝶閥位于真空泵和真空腔體處理室之間，可以控制設(shè)置第3位置以改變電導。

主應用

緊湊型隔離閥板，用于高傳導清潔過程。

有第三個位置來改變電導，一個蝶閥擁有兩個真空碟閥功能。

應用制程產(chǎn)業(yè)

• FPD 平面顯示器

• SEMI 半導體

• PVD 物理氣相沉積