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HORIBA在線橢偏儀 In-situ series

In-situ series

直接聯(lián)系

HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

HORIBA

型號(hào)：

In-situ series

關(guān)注度：

2918

產(chǎn)品介紹

儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。

技術(shù)參數(shù)：
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化

主要特點(diǎn)：
將激發(fā)和探測(cè)頭引入生產(chǎn)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn):
· 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚變化
· 光譜模式：監(jiān)測(cè)薄膜的界面和組分

產(chǎn)品咨詢

HORIBA在線橢偏儀 In-situ series

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