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華愛(ài)-氪分析用氦離子色譜儀

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上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司

上海

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598

產(chǎn)品介紹

氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化A級(jí)項(xiàng)目。

氪分析用氦離子色譜儀參考:GB/T 5829-2006 氪氣

項(xiàng)目指標(biāo)
高純氪純氪
一等品合格品
氪氣(Kr)(體積分?jǐn)?shù))/10-299.99999.99599.99
氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-62820
氧(O2)+氬(Ar)(體積分?jǐn)?shù))/10-61.555
氫(H2)(體積分?jǐn)?shù))/10-60.512
一氧化碳(CO)(體積分?jǐn)?shù))/10-60.30.41
二氧化碳(CO2)(體積分?jǐn)?shù))/10-60.40.81
甲烷(CH4)(體積分?jǐn)?shù))/10-60.30.81
水分(H2O)(體積分?jǐn)?shù))/10-6235
氙氣(Xe)(體積分?jǐn)?shù))/10-622050
氟化物(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-611015

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B通道

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華愛(ài)-氪分析用氦離子色譜儀

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