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薄膜材料無損檢測(cè)光功率熱分析儀（OPA ）

本儀器為無損檢測(cè)，并可同時(shí)檢測(cè)材料的相變溫度和熱膨脹系數(shù)。OPA 的研發(fā)成功，一舉填補(bǔ)了無損檢測(cè)納米級(jí)薄膜材料相變溫度和熱膨脹系數(shù)的國(guó)際性技術(shù)空白， 能測(cè)量低至5nm的薄膜材料。本儀器擁有多項(xiàng)***，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

創(chuàng)新設(shè)計(jì)

利用光干涉原理對(duì)透光材料及其配套薄膜熱膨脹系數(shù)的檢測(cè)。

根據(jù)薄膜材料在相變前后光學(xué)性質(zhì)（反射光功率）有較大差異的特性，在程序控制溫度下，采用一束恒定光功率的激光照射樣品表面，

并對(duì)其反射回的光功率進(jìn)行檢測(cè)，確定樣品在對(duì)應(yīng)溫度點(diǎn)下的反射光功率，通過分析形成反射光功率與溫度的變化曲線，確認(rèn)樣品的包括晶化溫度、熔化溫度等不同結(jié)構(gòu)相之間轉(zhuǎn)變的一級(jí)相變，及其他部分二級(jí)相變?cè)趦?nèi)的所有相變溫度。

可以同時(shí)測(cè)量薄膜相變溫度和熱膨脹系數(shù)

• 基于三維調(diào)整的光隔離器能有效保護(hù)激光器以及調(diào)整激光通路

• 搭載聚焦及濾波的傳感模塊能有效提高信號(hào)的檢出率

• 采用高性能長(zhǎng)壽命紅外加熱管進(jìn)行加熱，核心加熱區(qū)采用拋物反射面設(shè)計(jì)，確保對(duì)樣品進(jìn)行有

  效全方位的加熱

• 采用 PID 調(diào)節(jié)與模糊控制相結(jié)合的溫控系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高速跟隨控制

• 可配置 3 種不同加熱爐，覆蓋溫度范圍 RT~1800℃

• 直線滾珠軸承作為組件支撐及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向關(guān)聯(lián)件，確保送樣的平穩(wěn)可靠，行程限墊可有效確保導(dǎo)

  軌的行程范圍

• 壓迫式彈針接觸端子確保溫度傳感器的有效接通，同時(shí)其彈力可確保設(shè)備處于鎖緊狀態(tài)時(shí)才可

  進(jìn)行加熱操作等事宜，避免誤操作。

技術(shù)參數(shù)

樣品要求：

尺寸：長(zhǎng)×寬 5 x 5~20 x20 mm²，厚度 2.0mm（含基底）以下為宜

• 相變溫度測(cè)試樣品：尺寸滿足上述要求，具備光學(xué)反射平面；

• 熱膨脹系數(shù)測(cè)試樣品：適用于透光材料的熱膨脹系數(shù)檢測(cè)。具備光學(xué)反射雙平面，不具備此形

  態(tài)的樣品需涂鍍處理，待測(cè)薄膜樣品厚度≧266nm。

應(yīng)用材料

形變記憶合金材料 鐵電、壓電薄膜材料

相變存儲(chǔ)材料——硫系相變化合物：Ge 2 Sb 2 Te 5 高溫陶瓷薄膜

金屬薄膜材料（研究馬氏體、奧氏體、貝氏體等） 硬質(zhì)合金薄膜材料

高溫涂層薄膜 復(fù)合薄膜材料

......

應(yīng)用實(shí)例