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PGS/PGM 1000光譜儀憑借優(yōu)異的消像差設計，可實現(xiàn)一機兩用，配合單通道探測器作為單色儀，配合CCD使用作為攝譜儀。光路由一片消像差平面光柵和一片超環(huán)面鏡組成，為極紫外光譜分析優(yōu)化設計。掠入射光路設計將可探測波長拓展到軟X射線，與此同時，攝譜儀模式下焦平面垂直于出射光軸，使CCD上接受的光通量**化。

技術(shù)特點

HJY**的消像差平面光柵結(jié)合超環(huán)面鏡，同時兼顧高分辨率和低像差。

在軸設計，光路易準直。

出射光直射CCD表面，光通量大。

只需更換出射狹縫和法蘭，即可實現(xiàn)單色儀和攝譜儀之間的切換，一機兩用。

支持超高真空10^-9mbar，可接入同步輻射裝置。

光譜范圍覆蓋到4nm，4-16nm具有超高分辨率

典型應用

紫外可調(diào)濾波/光源

激光高次諧波

等離子體物理研究

X射線光電子能譜

EUV光源表征

技術(shù)指標

附件

前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實現(xiàn)光源和單色儀之間的光學匹配

后鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學匹配

樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品

偏振插片

制冷機，*低至4K

真空泵