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儀器簡(jiǎn)介

美國(guó)CETAC的激光剝蝕/激光燒蝕產(chǎn)品線源于全球行業(yè)翹楚之一的Photon Machines團(tuán)隊(duì)（縮寫PMI），其**代產(chǎn)品于1995年問(wèn)世，該品牌具有豐富的激光剝蝕產(chǎn)品設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品線涉及213nm固態(tài)激光、193nm準(zhǔn)分子激光、飛秒激光系統(tǒng)（與ICP-MS聯(lián)用），及CO₂和二極管激光熔融系統(tǒng)（與惰性氣體同位素質(zhì)譜聯(lián)用），此外多種高性能配件與更加直觀的分析軟件能夠增強(qiáng)并完善系統(tǒng)的功能，足以為全球元素分析用戶提供先進(jìn)的激光剝蝕技術(shù)。

Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)是市面上很具操作性的飛秒系統(tǒng)，采用結(jié)構(gòu)緊湊、全密閉的工業(yè)級(jí)激光源，無(wú)需二次校準(zhǔn)和清潔維護(hù)。系統(tǒng)提供多種波長(zhǎng)可選，如1028nm、257nm、206nm，或配置多波長(zhǎng)切換控制，相對(duì)應(yīng)的能量密度為10J/cm²(1028nm)、5J/cm²(257nm)、3J/cm²(206nm)，在長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行情況下剝蝕穩(wěn)定性RSD能達(dá)到0.1%。同時(shí)系統(tǒng)配備HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池，提供快速?zèng)_洗效率和持續(xù)的剝蝕環(huán)境。

注：使用飛秒激光剝蝕系統(tǒng)用于化學(xué)分析受美國(guó)**保護(hù)（**號(hào)5656186及RE37585，由美國(guó)密歇根大學(xué)持有），隸屬于CETAC品牌的Teledyne Photon Machines持有密歇根大學(xué)提供的全球許可，用于提供飛秒激光剝蝕系統(tǒng)。

應(yīng)用范圍

樣品種類

半導(dǎo)體材料；透明和半透明類樣品；石英；骨頭/化石；金屬基材料等。

主要性能參數(shù)

■ 激光源為L(zhǎng)ight Conversion-Pharos 2mJ或Pharos SP 1.5 mJ

■ 激光波長(zhǎng)1028nm、257nm、206nm可選

■ 脈沖寬度<190fs-10ps

■ 脈沖能量可達(dá)2mJ

■ 可調(diào)脈沖頻率1-200kHz（步進(jìn)1Hz）

■ 波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換選項(xiàng)廣（諧波發(fā)生器、OPA、NOPA、連續(xù)發(fā)生器）

■ 只經(jīng)歷一次光學(xué)折射以減少脈沖展寬

■ 每個(gè)波長(zhǎng)都有獨(dú)立的光路

■ 獨(dú)立的視頻和激光光學(xué)控制單元，能夠更好的查看樣品剝蝕點(diǎn)

■ 連續(xù)可調(diào)光斑大小1-65μm

■ 兼容HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池

■ 集成的冷卻系統(tǒng)減少實(shí)驗(yàn)室空間