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該設(shè)備為RTP快速升溫爐，加熱元件為紅外燈管，可快速升降溫。內(nèi)置移動導(dǎo)軌，并有電極帶動再導(dǎo)軌上滑動，三溫區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計，配合自動化程序控制，可實現(xiàn)樣品在不動條件下的自動化移動和蒸鍍處理。

技術(shù)參數(shù)

加熱部分：

爐膛模式：前后移動開啟式爐膛（三個工藝爐膛）

顯示模式：10 英寸觸摸屏

加熱元件：短紅外波燈管，上下水平面獨立加熱

工作溫度：≤750℃

升溫速率：≥15℃/s（空爐）

樣品移動：電機驅(qū)動，速度可調(diào)

溫區(qū)長度：200mm（恒溫區(qū) 100*100mm）

溫度均勻性：≤±2℃

工藝位溫降；≤30℃

快速降溫；≥3℃/S（空爐）

爐管規(guī)格  ：Φ150*1200 mm

控溫精度：±1℃

密封方式：快速法蘭密封

儀表補償：室溫自動補償

溫度曲線：30 段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

測溫元件：K 型鎧裝熱電偶（Omega）

爐膛材料：氧化鋁纖維

外形尺寸  ：1450*700*1000MM長*寬*高

整機功率：單個溫區(qū) 12kw，共計 36KW

電源參數(shù)：380V 50Hz

樣品移動：伺服電機驅(qū)動剛玉推桿帶動基板移動

運行軌道：鉬軌道

推桿速度：可調(diào)

導(dǎo)軌水平度：≤1mm/m

推桿定位誤差：≤1mm

防撞措施  ：超力矩推不動，急停按鈕

蒸發(fā)距離：樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)

速度誤差  ：≤1%

抽真空能力：大氣到≤5Pa 小于 15min（空爐）

氣壓范圍：10 -3Pa～10 5Pa，機械泵極限≤5Pa

泄漏率：≤5 -4（Pa*m 3/s）

真空計范圍：大氣到 10 -5Pa，**分辨率 0.01Pa

氣路系統(tǒng)：按照工藝要求定制