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系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

直接聯(lián)系

寧波瑞柯偉業(yè)儀器有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

710

產(chǎn)品介紹

FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

.功能描述

四點(diǎn)探針法,全自動(dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值、測(cè)試點(diǎn)數(shù)、多種測(cè)量模式選擇;真空環(huán)境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.

.適用范圍

晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片;新型電極設(shè)計(jì),如電鍍銅電阻測(cè)量等;半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽(yáng)能電池,LCD,OLED,觸摸屏.

.技術(shù)參數(shù):

規(guī)格型號(hào)

FT-3110A

FT-3110B

1.電阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方塊電阻

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.電阻率

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.測(cè)試電流

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA1uA、0.1uA

5.電流精度

±0.1%

6.電阻精度

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、

報(bào)表生成

8.壓力范圍:

探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,100-500g可調(diào)

9.探

針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%

圓頭鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制

10.可測(cè)晶片

尺寸選購(gòu)

晶圓尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm);

方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試

12.加壓方式

測(cè)量重復(fù)性:重復(fù)性≤3%

13.安全防護(hù)

具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

14.測(cè)試環(huán)境

真空

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W

16.選購(gòu)項(xiàng)目

電腦和打印機(jī)

產(chǎn)品咨詢

系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

寧波瑞柯偉業(yè)儀器有限公司

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