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等離子樣品清洗設(shè)備Evactron E50

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天美儀拓實(shí)驗室設(shè)備（上海）有限公司

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品介紹：

等離子體樣品清洗設(shè)備Evaction E50主要用于場發(fā)射掃描電鏡樣品和樣品室內(nèi)碳?xì)浠衔?、有機(jī)物和表面碳污染的清洗。Evaction E50可以安裝在電鏡交換倉或樣品室內(nèi)，利用等離子體進(jìn)行清洗，也可以用紫外線進(jìn)行清洗，無需切換到低真空模式即可使用，射頻功率高達(dá)50W，清洗效率高。

主要特點(diǎn)：

n清洗效率高（射頻功率50W）

n等離子體和紫外線雙重清洗

n高真空模式下運(yùn)行，真空范圍大

n無損清洗

n無需特殊氣源

n兼容SEM、FIB等設(shè)備

操作方式	桌面按鈕控制
遠(yuǎn)程遙控	支持安卓平板電腦或藍(lán)牙控制
尺寸	44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D)
射頻功率	20 - 75 W (13.56 MHz RFHC)
電源	100 – 240 VAC 50/60 Hz
標(biāo)準(zhǔn)	符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

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等離子樣品清洗設(shè)備Evactron E50

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