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SNE-4500M型掃描電鏡是韓國(guó)SEC公司研制的高分辨、自動(dòng)化、經(jīng)濟(jì)的高端型號(hào)Mini-SEM，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達(dá)10萬(wàn)倍；裝載易于使用的可變光闌，可達(dá)到5nm圖像分辨率，是臺(tái)式電鏡中分辨率**的設(shè)備；作為**一款5軸載臺(tái)的Mini-SEM， 能同時(shí)運(yùn)用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動(dòng)樣品進(jìn)行全方位分析；可通過(guò)多種掃描模式與測(cè)試工具獲得多種分析結(jié)果。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、教育、鑒定、工業(yè)、電子、環(huán)境、能源等領(lǐng)域。

儀器配置

圖1 SNE-4500M型掃描電鏡

技術(shù)參數(shù)

EDS(elment）介紹

EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對(duì)樣品表面進(jìn)行成分分析的設(shè)備。電子束轟擊樣品表面后，可產(chǎn)生多種信號(hào)，EDS探測(cè)器通過(guò)檢測(cè)其中的特征X-Ray，進(jìn)行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式，進(jìn)行點(diǎn)、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析，并生成不同格式的結(jié)果報(bào)告。賽可所有電鏡型號(hào)都可以裝載EDS探測(cè)器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、簡(jiǎn)便。

(a) 定性定量分析

提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果，面，點(diǎn)等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析，如圖2。

- 自動(dòng)分離重疊峰值， 提供高信頼性結(jié)果。

圖2 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS圖譜

(b) 線掃（Line Scan）

根據(jù)使用者指定的直線來(lái)進(jìn)行分析，可以明顯區(qū)分各元素差異，如圖3。

圖3 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS線掃圖

(c) 面掃（Mapping）

以不同顏色區(qū)分各元素所在區(qū)域，如圖4。

圖4 賽可臺(tái)式掃描電鏡EDS面掃圖

自動(dòng)軸控制

在標(biāo)配的手動(dòng)控制載臺(tái)上搭載電動(dòng)控制，可以對(duì)載臺(tái)在X/Y/R三軸的移動(dòng)進(jìn)行自動(dòng)控制，使樣品移動(dòng)更簡(jiǎn)單。

用戶可以利用控制界面進(jìn)行位置移動(dòng)，在軟件中雙擊鼠標(biāo)，位置回歸中心點(diǎn)。

圖5 自動(dòng)化平臺(tái)

設(shè)備應(yīng)用展示

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