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IDONUS,紫外LED光刻曝光系統(tǒng)

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皕赫科學(xué)儀器(上海)有限公司

瑞士

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

727

產(chǎn)品介紹

Idonus基于高功率LED和高檔微透鏡陣列的基礎(chǔ)上提出了一個(gè) GE MING性的紫外光照系統(tǒng)。

這個(gè)產(chǎn)品應(yīng)用于光刻膠曝光工藝,適用多種基材。光照質(zhì)量保證了高的同質(zhì)性的臨界尺寸和整個(gè)面上的側(cè)壁角。實(shí)際上,由于使用了一種完全遠(yuǎn)心的光學(xué),我們的設(shè)計(jì)提供了**的穩(wěn)定光照條件,即整個(gè)表面的高同質(zhì)性的強(qiáng)度和低的發(fā)散角。

可以根據(jù)用戶需求進(jìn)行產(chǎn)品開發(fā)定制,可以極大縮短您的想法變成產(chǎn)品的時(shí)間。

LED BENEFITS優(yōu)點(diǎn)

目前隨著LED技術(shù)的發(fā)展,紫外LED表現(xiàn)出了比汞光源更大的優(yōu)勢。

● 長壽命LED,測試不需要耗材

● 不需要每天校準(zhǔn),即刻穩(wěn)定光照

● 有限的發(fā)熱,這降低了空氣冷卻費(fèi)用

● 低功率消耗

● 光源僅僅在曝光時(shí)開啟(不需要快門)

● 用戶可以根據(jù)需求進(jìn)行照射系統(tǒng)定制。

也可以按照用戶舊機(jī)器的尺寸設(shè)計(jì)照射系統(tǒng),以替代舊的機(jī)器上的汞燈照射系統(tǒng)。

TYPICAL PERFORMANCES 典型參數(shù)

分辨率 :0.5 μm

光學(xué)功率 :20 to 200 mW/cm2

曝光區(qū)域 :50x50 to 300x300 mm2

光學(xué)輻照不均勻性 : ±2%

ZUI大發(fā)散角(FWHM) :±1.5°to 3°

波長 :365 / 385 / 405 nm

光譜半寬幅 :12 nm

設(shè)備尺寸 : 65x30x30 cm3

總功率 :20 to 1200 W

EXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系統(tǒng)規(guī)格舉例

可能的曝光系統(tǒng)的不同配置如下表所示,系統(tǒng)可以根據(jù)您的需要設(shè)計(jì)。

System Type 系統(tǒng)型號(hào)

A

B

C

Resolution [um] 分辨率

2

1

1

Optical power [mW/cm2] 光學(xué)功率

42

152

165

Exposition area [mm2] 曝光面積

80x80

100x100

300x300

Optical irradiance inhomogeneity [%]

光照幅度不均勻性

±2

±2

±2

Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum)

**發(fā)散角(半寬幅)

±2.5°

±1.5°

±1.5°

Wavelength [nm] 波長

405

365

385

Spectrum half width [nm] 光譜半寬幅

12

12

12

System size [cm] 系統(tǒng)尺寸

65x30x30

65x30x30

1100x60x60

Power consumption [W] 功耗

20

180

1200

產(chǎn)品咨詢

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