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日本JEOL截面樣品制備裝置IB-19520CCP　

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

德國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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400

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

日本JEOL截面樣品制備裝置IB-19520CCP　

IB-19520CCP在加工過(guò)程中利用液氮冷卻，能減輕離子束對(duì)樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計(jì)。在裝有液氮的情況下，也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫，并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu)，在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全過(guò)程。

產(chǎn)品規(guī)格：

離子加速電壓	2 ～ 8 kV
離子束直徑	500 um( FWHM)
研磨速率	500 um（兩小時(shí)的平均值、8 kV、硅材質(zhì)換算、突出量:100 um）
樣品架冷卻達(dá)到的溫度	-120 ℃
樣品冷卻持續(xù)時(shí)間	8小時(shí)以上
制冷箱容量	約1升
承載樣品的**尺寸	11mm(長(zhǎng)) × 8mm（寬）× 3mm（厚）
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍	X軸：±6mm、Y軸：±2.5mm
固定樣品方法	夾式
樣品加工擺角	±30°
加工觀察用相機(jī)的倍率	約20～100倍（6.5寸顯示器上）機(jī)械泵: 150 mm（寬） × 427 mm（長(zhǎng)） × 230 mm（高）、約16 kg
空氣隔離系統(tǒng)	轉(zhuǎn)移艙
空氣隔離法	將艙內(nèi)設(shè)定成氬氣氣氛，蓋上轉(zhuǎn)移艙蓋子，將樣品封在艙里。
操作方法	觸控屏、6.5寸顯示器
使用氣體	氬氣(用質(zhì)量流量控制器控制流量)
壓力測(cè)試	潘寧真空計(jì)
主抽真空系統(tǒng)	渦輪分子泵
輔助抽真空系統(tǒng)	機(jī)械泵
尺寸、重量	主機(jī)：約670mm (寬) × 720mm(長(zhǎng)) × 530mm(高)、約73kg 機(jī)械泵：約150 mm (寬) × 430 mm(長(zhǎng)) × 230 mm(高)、約16kg
選配件	大型旋轉(zhuǎn)樣品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH)　基座樣品架（IB‐11560MBSH)　大型樣品架（IB-11570LSH)　　噴碳樣品架（IB-12510CCH）
電源	單相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地線(xiàn)	獨(dú)立地線(xiàn)(100 Ω以下)
氬氣	使用壓力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm2) 純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶(hù)自備) 金屬配管連接口:JISB0203 RC1/4
室溫	15～25 ℃
濕度	60%以下

產(chǎn)品特點(diǎn)：

★ 冷卻的效果　樣品：鍍鋅鋼板

· 可提供500μm/h（8KV/2小時(shí)的平均值）的研磨速率。

· ※ 通常加工（無(wú)冷卻）時(shí)，鐵和鋅的接合面上能夠觀察到間隙，而冷卻加工時(shí)則沒(méi)有間隙

·★ 使用溫度控制系統(tǒng)（選配件）冷卻　樣品：硅晶片接合面

· ※ 常規(guī)加工由于熱損傷造成粘合劑變形，出現(xiàn)了很大的間隙。 -150 ℃時(shí)，冷卻過(guò)度，能觀察到膠粘劑和硅晶片研磨面的接合面上出現(xiàn)了間隙，但通過(guò)溫度控制冷卻則沒(méi)有間隙。

·★ 合理利用間歇加工、冷卻功能和溫度控制冷卻功能可支持各種樣品的制備

· ★ 進(jìn)程監(jiān)控功能

· 截面加工狀態(tài)可通過(guò)CCD相機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控，倍率還可調(diào)整。

·★ 防止充放電的噴鍍功能

· 備有離子束濺射功能（選配項(xiàng)）

可以噴涂顆粒感良好的薄涂層。

*適合于象EBSD等需要花樣識(shí)別等情況。

· ★ 平面離子減薄樣品架

· 以小角度的離子束低角度照射樣品，達(dá)到清除表面污垢、平滑表面等效果。

另外也非常適合于選擇性蝕刻。

· ★ 截面樣品制備單元

· 安裝在平面離子減薄樣品架上使用。該單元可用于在旋轉(zhuǎn)樣品的同時(shí)進(jìn)行離子束加工。

可以用來(lái)制備象多孔質(zhì)材料、粉末、纖維等容易出現(xiàn)加工條紋的樣品的截面。

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