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適合ΘX-Z運(yùn)動的傾斜平移臺

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科藝儀器有限公司

法國

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面議

關(guān)注度：

320

產(chǎn)品介紹

傾斜平移臺采用了2個APA®致動器，可以產(chǎn)生兩種類型的運(yùn)動：

?Z當(dāng)兩個致動器同步致動時，軸運(yùn)動（平移）可達(dá)80μm

?當(dāng)兩個致動器相反致動時，ΘX運(yùn)動（平移）可達(dá)+/- 0.6°

傾斜平移臺TT60SM基于APA60SM而設(shè)計，配備應(yīng)變計以消除回程差。如果只要求傾斜運(yùn)動，僅需要一個通道。TT60SM要求使用推拉式驅(qū)動器。

參數(shù)	單位	TT60SM
型號		V- TT60SM
備注		-
傳感器		SG
主動軸		TZ，RX
**空載位移[Tz]	um	80.0
角位移[Rx]	mrad(+/-)	11.00
Y方向的**面外位移	um	25.0
電壓范圍	V	-20…150
硬度	N/um	2.0
高度(Z 軸)	mm	18.0
寬度(Y 軸)	mm	13.0
長度(X 軸)	mm	25.0
縱向分辨率[Tz]	nm	0.8
角度分辨率[Rx]	urad	0.1
質(zhì)量	g	65
空載共振頻率(在致動方向)	Hz	3000
響應(yīng)時間	ms	0.17
電容 (每個電氣接口)	uF	1.55
機(jī)械接口(有效負(fù)載)		平坦表面 2.5 *8mm2
機(jī)械接口(框架)		2 M2螺紋孔
電氣接口		4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug

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適合ΘX-Z運(yùn)動的傾斜平移臺

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