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XYZ軸壓電平臺

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科藝儀器有限公司

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產(chǎn)品介紹

壓電平臺XY200M沿X，Y和Z軸的行程為200 μm，**可以承受3kg的負(fù)載。應(yīng)用領(lǐng)域包括共焦微鏡，掩膜定位和檢測。這種平臺基于APA200M設(shè)計(jì)，具有很高的硬度。平臺可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)或渦流傳感器。平臺沿X，Y和Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)非常小。移動(dòng)外框可根據(jù)要求定制。

這種結(jié)構(gòu)要求驅(qū)動(dòng)器的前兩個(gè)通道為推拉式。

參數(shù)	單位	XYZ200M
型號		V-XYZM200
備注		-
傳感器		SG，ECS
主動(dòng)軸		TX，TY，TZ
**空載位移[Tx，Ty]	um	180
Z方向**面外位移	um	200
Z方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)	urad	240
XY方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)	urad	50
電壓范圍	V	-20…150
硬度	N/um	0.66
高度(Z 軸)	mm	44.0
尺寸(X&Y 軸)	mm	100*100
分辨率	nm	1.8
質(zhì)量	g	540
空載共振頻率(在致動(dòng)方向)	Hz	380
響應(yīng)時(shí)間	ms	1.32
電容(每個(gè)電氣接口)	uF	6.30
機(jī)械接口(有效負(fù)載)		物鏡接口*4/55 1.36(指定)
機(jī)械接口(框架)		4 Ф4.5mm 孔 []84
電氣接口		3 RG178B/U 同軸電纜

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