&

Newport HXP高精度位移臺(tái)

直接聯(lián)系

森泉光電有限公司

美國(guó)

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358

產(chǎn)品介紹

HXP高精度位移臺(tái)

特征：

創(chuàng)新型促動(dòng)器接頭

每個(gè) Newport 六足位移臺(tái)型號(hào)的聯(lián)接系統(tǒng)都是獨(dú)yi無(wú)二的，這樣可以提高載重下的位置穩(wěn)定性。Newport 六足位移臺(tái)采用球形接頭或萬(wàn)向接頭設(shè)計(jì)，與相似尺寸的其他六足位移臺(tái)相比，擁有五倍以上的剛度和兩倍以上的載重能力。

高精度促動(dòng)器

六足位移臺(tái)的頂板由六個(gè)同步的高性能促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，編碼器安裝在絲杠螺母上，用以實(shí)現(xiàn)精確 MIM、低側(cè)隙與高速特性。

應(yīng)用:

光學(xué)器件和衛(wèi)星裝配與測(cè)試
AED 模擬
天文
生物技術(shù)和外科手術(shù)
X 射線衍射
微加工和顯微操縱

型號(hào)	HXP50HA-MECA	HXP100HA-MECA	HXP100PHA-MECA
尺寸	?200 x 151 mm	?300 x 209 mm	?300 x 209 mm
行程范圍 X、Y、Z 1	±17， ±15， ±7 mm	±27.5， ±25， ±14 mm	±27.5， ±25， ±14 mm
行程范圍 ΘX、ΘY、ΘZ	±9， ±8.5， ±18 °	±11.5， ±10.5， ±19 °	±11.5， ±10.5， ±19 °
*小位移增量 X、Y、Z 2	0.10， 0.10， 0.05 μm	0.50， 0.50， 0.25 μm	0.10， 0.10， 0.05 μm
*小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ	0.05， 0.05， 0.10 mdeg	0.25， 0.25， 0.5 mdeg	0.05， 0.05， 0.10 mdeg
單向重復(fù)精度 X、Y、Z - 典型值	±0.10， ±0.10， ±0.05 μm	±0.14， ±0.13， ±0.05μm	±0.10， ±0.10， ±0.05 μm
單向重復(fù)精度 X、Y、Z - 保證值	±0.15， ±0.15， ±0.075 μm	±0.25， ±0.25， ±0.125 μm	±0.15， ±0.15， ±0.075 μm
單向重復(fù)精度 ΘX， ΘY， ΘZ - 典型值	±0.05， ±0.05， ±0.10 mdeg	±0.125， ±0.125， ±0.25 mdeg	±0.05， ±0.05， ±0.10 mdeg
*da速度 X、Y、Z	14， 12， 5 mm/s	2.5， 2， 1 mm/s	12， 10， 5 mm/s
*da速度（ΘX、ΘY、ΘZ）	6， 6， 15 °/s	1.8， 1.7， 3 °/s	8， 8， 16 °/s
剛度（X、Y、Z） 3	2， 2， 25 N/μm	5， 5， 40 N/μm	3， 3， 24 N/μm
俯仰 X、Y、Z，保證值	±50， ±50， ±25 μrad	±75， ±75， ±75 μrad	±37.5， ±37.5， ±37.5 μrad
偏擺 X、Y、Z，保證值	±50， ±50， ±25 μrad	±75， ±75， ±75 μrad	±37， ±37， ±37 μrad
中心負(fù)載 4	50 N	200 N	60 N
電纜長(zhǎng)度	3 m	3 m	3 m
重量	2.2 kg	7.2 kg	7.2 kg
jue對(duì)精度 XYZ，保證值	±5.0， ±5.0， ±2.5 μm	±10， ±10， ±5μm	±5.0， ±5.0， ±2.5μm

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高精度促動(dòng)器