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日立掃描電子顯微鏡S-3700N

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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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476

產(chǎn)品介紹

日立高新掃描電子顯微鏡S-3700N適合用于研究大件，較重，較高的樣品。

▲**樣品直徑達(dá)300mm。

▲可觀察范圍直徑達(dá)203mm。

▲可對(duì)高達(dá)110mm的樣品進(jìn)行觀察和能譜分析。

▲通用型接口布局滿足各種分析用途。

特點(diǎn)

特大型的樣品室可裝載**直徑達(dá)300 mm的樣品，還可同時(shí)安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達(dá)110 mm。

5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心傾斜、旋轉(zhuǎn)、圖像導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品臺(tái)追蹤、軌跡存儲(chǔ)與中心復(fù)位等樣品臺(tái)的馬達(dá)控制功能一應(yīng)俱全。

S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設(shè)計(jì)，這使得操作者經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可操作。

顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無(wú)閃爍，高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測(cè)器觀測(cè)到的互不相同的樣品信息。

可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品。

高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡(jiǎn)單和便利。

標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件**限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。

規(guī)格

項(xiàng)目		描述
分辨率	二次電子分辨率	30kV時(shí)，3.0nm(高真空模式) 3kV時(shí)，10nm(高真空模式)
分辨率	背散射電子分辨率	30kV時(shí)，340nm(低真空模式)
放大倍率	×5-×300，000
加速電壓	0.3-30KV
低真空范圍	6-270pa圖形菜單
圖像移動(dòng)	±50μm（WD=10mm）
**樣品尺寸	Ф300mm
樣品臺(tái)	X	150mm
	Y	110mm
	Z	5-65mm
	R	360°
	T	-20°-90°
	觀測(cè)區(qū)域	Ф203mm（可旋轉(zhuǎn)）
	**高度	110mm（WD=10mm）
	樣品臺(tái)控制	計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心
電子光學(xué)	電子槍	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
	物鏡光闌	可移動(dòng)式4孔物鏡光闌
	槍偏壓	帶可控4偏壓
	檢測(cè)器	埃弗哈特索恩利二次電子檢測(cè)器高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，五分割
	分析位置	WD=10mm 取出角=35°
顯示器	自動(dòng)合軸	自動(dòng)設(shè)定束流，自動(dòng)合軸
	自動(dòng)圖像調(diào)整	自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散/聚焦，自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度
	存儲(chǔ)圖像精度	640×480像素，1280×960像素，2560×1920像素，5120×3840像素
	圖像文件格式	BMP，TIFF，JPEG
	圖像顯示模式	全屏顯示1280×960像素，小屏顯示640×480像素，雙屏顯示640×480像素×2，信號(hào)混合模式
真空系統(tǒng)	操作	全自動(dòng)程序
	渦輪分子泵	210L/sec.×1
	機(jī)械泵	135L/min.(162L/min.60Hz)×1
	安全措施	斷電保護(hù)，漏電保護(hù)
輔助功能		光柵旋轉(zhuǎn)，動(dòng)態(tài)消像散
		動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能
		自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能
		三維動(dòng)畫維修指南
		導(dǎo)航，測(cè)量方便，傾斜畫面

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