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日立高分辨環(huán)境透射電鏡H-9500

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日本

產(chǎn)品規(guī)格型號
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面議

關(guān)注度:

416

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡

在精細加工技術(shù)已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。

為了滿足這種高端需求,日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優(yōu)秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了數(shù)字技術(shù),便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

用戶友好型的操作系統(tǒng)

和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計

快速的樣品分析,1分鐘換樣,5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)

高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡

點分辨率為0.18 nm,晶格分辨率為0.1 nm

穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測角臺

性能優(yōu)異,可靠性高

性能優(yōu)異,可靠性高

得到市場驗證的10級加速器電子槍設(shè)計

阻抗式高壓電纜設(shè)計

高檔可選附件

高檔可選附件

通用樣品桿,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用

可為原子分辨率的動態(tài)研究提供加熱,冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規(guī)格

項目 說明
分辨率 0.10nm(晶格分辨率)

0.18nm(點分辨率)

加速電壓 300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率 連續(xù)放大模式 1,000~1,500,000×
選區(qū)模式 4,000~500,000×
低倍模式 200~500×
電子槍 燈絲 LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換 自動升降式電子槍
高壓電纜 阻抗電纜
照射系統(tǒng) 透鏡 四級透鏡
聚光鏡光闌 4孔可變
探針尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4級)

納米束模式:1 - 10 nm(4級)

電子束傾斜 ±3°
成像系統(tǒng) 透鏡 五級透鏡
聚焦 圖像搖擺調(diào)整

利用像散監(jiān)視器進行正焦補償

聚焦優(yōu)化

物鏡光闌 4孔可變光闌
選區(qū)光闌 4孔可變光闌
電子衍射 選區(qū)電子衍射

納米探針電子衍射

會聚束電子衍射

相機長度 250 - 3,000 mm
樣品室 樣品臺 5軸優(yōu)中心海帕測角臺
樣品尺寸 3mmΦ
樣品位置追蹤 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通過CPU控制馬達驅(qū)動
樣品位置顯示 自動驅(qū)動,自動跟蹤
樣品傾斜 α = ±15°, β = ±15°(日立雙傾樣品臺*2)
防污染 冷阱
烘烤功能 中溫烘烤功能
觀察室 熒光屏 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ
目鏡 7.5×
照相室 區(qū)域選擇 整張照相/半張曝光
膠片 25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面 操作系統(tǒng) Windows XP
顯示器 19英寸顯示器
功能 數(shù)據(jù)庫,測量,圖像處理
數(shù)碼CCD 相機*3 相機耦合 透鏡耦合
有效像素 1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率 12位
真空系統(tǒng) 電子槍 離子泵:60 L/s
鏡筒 渦輪分子泵:260 L/s
觀察室/照相室 擴散泵:280 L/s

前級泵:135 L/min × 3臺

  • *1:放大倍率校準為可選項

    *2:可選件

    *3:本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機

    以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時的承諾

產(chǎn)品咨詢

日立高分辨環(huán)境透射電鏡H-9500

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