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橢偏儀

SpecEL-2000是一款操作便捷的臺(tái)式光譜橢偏儀，主要用于測量平整和半透明的樣品，例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。

橢圓偏光技術(shù)是一種非接觸式、非破壞性，以光學(xué)技術(shù)測量表面薄膜特性的方法。其檢測原理是：當(dāng)一束偏振光經(jīng)過物體表面或界面時(shí)，其偏振極化狀態(tài)會(huì)被改變。而橢偏儀就是通過探測樣品表面的反射光，來測量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面特性薄膜的光學(xué)常數(shù)（n、k值）及膜厚。

SpecEL-2000測試系統(tǒng)主要包括：寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、導(dǎo)光器件、起偏器、樣品測試臺(tái)、檢偏器、光學(xué)增強(qiáng)元件及測量分析軟件。

SpecEL-2000適合于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)特性，通常應(yīng)用于有薄膜存在的地方，其應(yīng)用包括光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計(jì)算機(jī)讀寫頭以及半導(dǎo)體集成電路制造的研究開發(fā)。另外，在生物、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)及材料研究等方面有著廣泛的應(yīng)用。

SpecEL橢偏儀基本性能：

●基本型號：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

●光譜范圍：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

●測量范圍：1nm~10μm

●膜厚分辨率：0.1nm

●測量時(shí)間：7~13s

●測量膜層：32層

●光束直徑：300×1200μm (Smaller spots available)

●入射角度：700 (other angles available)

●樣品調(diào)整：高度±1mm；傾斜±10

●測量指標(biāo)：光學(xué)常數(shù)(n&k)及膜厚

●快速響應(yīng)：在線測量

●基底材料：硅晶片和玻璃片等

●數(shù)學(xué)模型：折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數(shù)學(xué)模型

●應(yīng)用場合：光學(xué)鍍膜/保護(hù)膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導(dǎo)體集成電路