納米尺度樣品的特征。

它可以用作獨(dú)立的顯微鏡

或與電子束結(jié)合，這是它的**優(yōu)點(diǎn)。 LiteScope™通常在高真空下操作，但可根據(jù)要求適用于超高真空。

LiteScope™連接到SEM / FIB顯微鏡的樣品臺(tái)，從而可以根據(jù)用戶的喜好進(jìn)行操作。 LiteScope™能夠測(cè)量

在傾斜位置，例如用于與FIB技術(shù)同時(shí)使用。在這種情況下，用戶將會(huì)欣賞對(duì)接選項(xiàng)，從而可以將整個(gè)SPM探針縮回并隱藏在LiteScope™的主體中。

機(jī)械設(shè)計(jì)在剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率方面尊重所有基本結(jié)構(gòu)要求。結(jié)果是高度穩(wěn)定的機(jī)架，機(jī)械振動(dòng)水平極低，可產(chǎn)生極其可靠的結(jié)果。

設(shè)計(jì)亮點(diǎn)

• 薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB儀器中

• 易于集成的程序 - 安裝在SEM / FIB操縱器上

• 通用探頭支架適用于多種SPM方法和簡(jiǎn)單的“即插即用”組裝

• 樣品傾斜高達(dá)60°

• 優(yōu)化的機(jī)械設(shè)計(jì)，具有極低的振動(dòng)水平（剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率），集成前置放大器（盡可能消除信號(hào)失真/噪聲）

LiteScope™數(shù)據(jù)

獨(dú)特的CPEM技術(shù)及其相關(guān)成像技術(shù)可應(yīng)用于要求苛刻的領(lǐng)域，使用常規(guī)SEM進(jìn)行成像可能會(huì)因與化學(xué)對(duì)比度相關(guān)的表面污染而干擾表面形貌而提供誤導(dǎo)信息。CPEM是實(shí)時(shí)準(zhǔn)確分析和解釋圖像的理想解決方案。

材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究需要使用不同的分析方法對(duì)表面和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)和全面的分析。這是基于充分理解原則的需要

納米級(jí)范圍。 LiteScope™是這些科學(xué)應(yīng)用的理想工具。

對(duì)于諸如FIB和GIS之類的技術(shù)而言，其直接優(yōu)勢(shì)是顯而易見(jiàn)的，其中結(jié)構(gòu)直接在SEM中形成。新建結(jié)構(gòu)的3D分析工具至關(guān)重要。此外，配備CPEM和其他成像模式的LiteScope™可以對(duì)制備的結(jié)構(gòu)和納米器件進(jìn)行復(fù)雜的分析。