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• XE15型原子力顯微鏡簡(jiǎn)介：

  XE15型原子力顯微鏡是韓國(guó)PARK原子力顯微鏡公司專為工業(yè)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā)的一款大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動(dòng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)，**全自動(dòng)移動(dòng)范圍達(dá)200mm*200mm，掃描分辨率0.03nm，集成了PARK公司**技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”，并標(biāo)配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測(cè)量模式可選，XE15型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體，LCD，LED，OLED，硬盤等工業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室QC控制。

• XE15型原子力顯微鏡技術(shù)特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前全球**一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測(cè)量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量，避免了由于針尖磨損帶來(lái)測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

  下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無(wú)變化，針尖幾乎無(wú)磨損?。?！

2）測(cè)量分辨率：采用Park公司**的新型應(yīng)變傳感器，憑借著0.03nm的超低噪聲

3）采用全球**性能平板掃描器：采用**技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡(jiǎn)單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的**技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋，無(wú)需尋找共振峰，無(wú)需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)****）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺(jué)旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí)，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的**化，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

5）具有全球*廣泛的原子力顯微鏡模式：

• XE15型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：

  - XY閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)100μm*100μm

  - Z向閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)12μm，25μm可選

  - 超高的測(cè)量分辨率：可達(dá)0.03nm

- 全自動(dòng)掃描范圍：150mm*150mm（200mm*200mm可選）

• XE15型原子力顯微鏡部分測(cè)試實(shí)例：