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光譜型橢偏儀Ellipsometer

直接聯(lián)系

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

德國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

1140

產(chǎn)品介紹

光譜型橢偏儀 (spectroscopic ellipsometer)

原產(chǎn)國(guó)：德國(guó)

儀器特點(diǎn)：

? 可直接得到光學(xué)參數(shù)、n值（折射率）、k值（吸收率）及厚度，并可作在線即時(shí)測(cè)量；

? 可作各光學(xué)參數(shù)的整理歸檔，并以各種不同模式輸出；

? 非接觸式測(cè)量，不刮傷損壞測(cè)試樣品；

? 體積小巧：由高性能的微型光纖光譜儀構(gòu)成分光逐漸，體積小巧；

? 使用簡(jiǎn)單方便：由計(jì)算機(jī)控制測(cè)量，只需按一個(gè)按鍵，即可完成薄膜特性檢測(cè)。

特性參數(shù)：

規(guī)格型號(hào)	SpecEI-2000光譜型橢偏儀
厚度范圍	1nm～10um
厚度分辨率	0.1nm (1埃)
重現(xiàn)性：	70nm SiO2 on Si cos(Delta) ±0.0003， tan(Psi) ±0.0002
光斑大小	300×1200 um（小尺寸光斑可選配）
光學(xué)參數(shù)	可得出：n（折射率）、k（吸收率）值
折射率精度	0.005
光譜范圍	400～1000nm （可選290～1050nm）
光譜分辨率	1 nm
入射角度	70°（其他角度可選配）
薄膜層數(shù)	> 3層
參考測(cè)量	不需要參考，直接測(cè)量
膜層材料	波片、光學(xué)材料等
透明膜	可以測(cè)透明膜
測(cè)量速度	7～13秒
樣品定位**允許誤差	高度允許誤差±3mm；光入射角允許±1° 不需進(jìn)行高度和傾斜角調(diào)整
顯微鏡	可與顯微鏡匹配使用
可視	可顯微觀察，與顯微鏡匹配使用
掃描測(cè)量	可以掃描測(cè)量，掃描直徑6英寸或12英寸
真空應(yīng)用	由用戶自行選購(gòu)后，可以在真空環(huán)境中使用
SpecEL-V1.1	操作界面友好，使用簡(jiǎn)單的測(cè)量軟件。測(cè)量膜厚、n值、k值、膜層結(jié)構(gòu)編輯功能

可用于：在線過程監(jiān)控或離線產(chǎn)品檢測(cè)

橢偏儀原理：

橢圓偏光法是基于測(cè)量偏振光經(jīng)過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)。光譜型橢偏儀在全部光譜范圍內(nèi)(而不是特定的波長(zhǎng))測(cè)量Psi和Delta，通過構(gòu)建物理模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，*終得到膜厚、折光系數(shù)、吸收、粗糙度、組成比率等結(jié)果。

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