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lyncee+材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡+DHM™ R2100

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上海瞬渺光電技術(shù)有限公司

瑞士

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776

產(chǎn)品介紹

材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡

lyncee+材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡+DHM™ R2100

LynceeTec數(shù)字全息顯微鏡DHM

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates， in real-time， high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.

儀器簡(jiǎn)介

瑞士Lyncee tec公司的材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要應(yīng)用是在MEMS研發(fā)中用于測(cè)量工作，以及在生產(chǎn)線用于缺陷檢測(cè)。與上述用途中現(xiàn)在經(jīng)常使用的共焦顯微鏡相比，在同行分辨率下能夠更高速地進(jìn)行測(cè)量。垂直方向的分辨率為0.6nm，水平方向?yàn)?/span>200nm～300nm（取決于物鏡）。使用1.25倍率的物鏡時(shí)視野為4mm×4mm，可以15幀/秒的速度進(jìn)行測(cè)量。因此，25px見方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時(shí)，同等范圍的觀察則需要幾個(gè)小時(shí)～10小時(shí)。此外產(chǎn)品**可將觀察速度擴(kuò)展至1萬(wàn)幀/秒。由于攝影速度快，因此不需減震臺(tái)，可用來(lái)檢測(cè)流水線上的產(chǎn)品。

照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機(jī)，作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)保存下來(lái)，由此算出三維數(shù)據(jù)。計(jì)算三維數(shù)據(jù)時(shí)使用的是專用軟件“Koala Software”。

主要特點(diǎn):

·非接觸式3D成像

·可進(jìn)行相位測(cè)量

·自動(dòng)相干補(bǔ)償

·高分辨、實(shí)時(shí)測(cè)量

技術(shù)規(guī)格

系統(tǒng)

·測(cè)量技術(shù)： 單波長(zhǎng)透射式數(shù)字全息顯微鏡

·成像類型： 強(qiáng)度及定量相差 (DHM模式)

·光 源： 單波長(zhǎng)激光

·樣品臺(tái)： 手動(dòng)或自動(dòng)XYZ平臺(tái)， 行程200mm××100mm×15mm

·相 機(jī)： 1392×1040像素， 8bits

·有效物鏡： 標(biāo)準(zhǔn)顯微物鏡， 長(zhǎng)工作距離物鏡， 油鏡或水鏡

性能

·縱向分辨率： 10nm

·垂直測(cè)量范圍： 可達(dá)340nm (取決于樣品)

·橫向分辨率： 300nm (1.4NA)

·視場(chǎng)范圍： 4.4mm

·工作距離： 0.3~18mm

·數(shù)字聚焦范圍： 達(dá)到50倍場(chǎng)深

·抓圖時(shí)間： 小于1us

·空間采樣： 1024×1024像素

·采樣速率： 15fps (1024×1024像素)

·單波長(zhǎng)重建速率：15fps (512×512像素)， 4fs(1024×1024像素)

·樣品照明： 小于1uW/cm2

·**樣品尺寸： 200mm×200mm

電源要求

·輸入電壓： 85-260VAC， 50/60Hz

·功率： 480W

重量&尺寸

·顯微鏡部分： 500×500×500mm&34.5kg

產(chǎn)品咨詢

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