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SU8020發(fā)射掃描電鏡

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青島澳信儀器有限公司

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產(chǎn)品介紹

SU8020--日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列

產(chǎn)品介紹：

日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測器設計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測；結(jié)合選配的STEM探測器，還可以實現(xiàn)明場像和暗場像的觀測；此外在半導體應用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號的采集，對樣品的信息的收集達到了新的高度。

特點：

1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立**的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品

3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器

4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像

5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能

6. 標配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

項目		SU8020	SU8030				SU8040
二次電子分辨率		1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm）
		1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm）
加速電壓		0.1～30kV
觀測倍率		20～8000，000(底片輸出)
		60～2，000，000（顯示器輸出）
樣品臺
馬達驅(qū)動		5軸				REGULUS樣品臺
行程	X	0～50mm		0～110mm
	Y	0～50mm		0～110mm		0～80mm
	Z	360°
	T	-5～70°
	R	1.5～30mm			1.5～40mm
**裝載尺寸		100mm（**）			150mm（**）			150mm（**）
		150mm（選配）			200mm（選配）
探頭
標配	Lower	高立體感圖像
	Upper	高分辨SE、LA-BSE圖像
	Top	SE的電位襯度像、HA-BSE圖像
選配	STEM	明場像、暗場像
	YAG 探頭	BSE圖像
	半導體探頭	BSE圖像
	EBIC	電子束感生電流圖像
	EDS	元素分析
反污染措施
冷指		標配
物鏡光闌		內(nèi)置自清潔功能
電子槍		內(nèi)置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵		3臺
分子泵		1臺
機械泵		1臺

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