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應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x

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北京歐屹科技有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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產(chǎn)品介紹

在PA系類設(shè)備的基礎(chǔ)上，加裝晶圓專用的裝置，可以高效精確的測(cè)量SIC和藍(lán)寶石這類光學(xué)性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應(yīng)力的信息。

應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x主要特點(diǎn)：

應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x應(yīng)用領(lǐng)域:

應(yīng)力雙折射測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)次	項(xiàng)目	具體參數(shù)
1	輸出項(xiàng)目	相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】

2	測(cè)量波長(zhǎng)	520nm

3	雙折射測(cè)量范圍	0-130nm

4	測(cè)量*小分辨率	0.001nm

5	測(cè)量重復(fù)精度	<1nm（西格瑪）

6	視野尺寸	40x48mm到240x320mm（標(biāo)準(zhǔn)）

7	選配鏡頭視野	不適用

8	選配功能	實(shí)時(shí)解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制

產(chǎn)品咨詢

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