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優(yōu)點

NTT-AT公司已提供了20 多年高質(zhì)量XUV、EUV和X射線反射鏡。尤其是利用本公司的豐富經(jīng)驗和出色技能，提供可定制設(shè)計的多層膜反射鏡，滿足各用戶的需求。

1990年，NTT-AT公司開發(fā)了極紫外（XUV或EUV）多層反射鏡和X射線反射鏡并開始銷售。并將亞洲、北美洲、南美洲和歐洲的大學、研究所和企業(yè)反饋的意見反映到這些反射鏡的設(shè)計中。本公司將利用廣泛積累的經(jīng)驗和可靠的技術(shù)支持用戶的多層反射鏡生產(chǎn)。

特點

因為NTT-AT公司的多層反射鏡質(zhì)量高，所以一直被世界上的研究機構(gòu)所選用。本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu)，滿足用戶的基板、峰值波長、帶寬和分散體等詳細規(guī)格。還應(yīng)對耐高溫多層反射鏡。利用同步加速器設(shè)備的反射率評估服務(wù)也可作為選項提供。

同時也為包括EUV光刻的EUV工業(yè)應(yīng)用提供成本低、交付周期短、質(zhì)量穩(wěn)定的多層反射鏡。作為用戶的研發(fā)伙伴，支持用戶的EUVL光源開發(fā)、EUV光刻膠開發(fā)、EUV掩模檢查和其它周邊領(lǐng)域的實際利用。

XUV多層膜反射鏡（EUV多層膜反射鏡）

基板形狀：平面、凸形、凹形、拋物面、超環(huán)面、橢圓面基板材料：石英、硅、zero dewer等

多層膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等

基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米

NTT-AT公司將提供高耐用性XUV多層反射鏡、耐高溫XUV多層膜反射鏡以及施瓦茲希爾德光學系統(tǒng)和泵浦探測光學系統(tǒng)等光學系統(tǒng)。

X射線多層膜反射鏡

基板形狀：平面、橢圓面、拋物面、柱面、超環(huán)面

基板：石英、硅、zero dewer等

基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等

基板尺寸：**500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng)、沃爾特反射鏡等

單層反射鏡

基板形狀：平面、橢圓面、拋物面、柱面、超環(huán)面基板材料：石英、硅、zero dewer等

多層材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等

基板尺寸：**500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng)、沃爾特反射鏡等

本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu)，滿足用戶的基板、峰值波長、帶寬和分散體等詳細規(guī)格。還應(yīng)對耐高溫多層反射鏡。利用同步加速器設(shè)備的反射率評估服務(wù)也可作為選項提供。世界上只有為數(shù)不多的公司生產(chǎn)和銷售EUV反射鏡。如果您不滿意現(xiàn)在的供應(yīng)商，NTT-AT公司能夠制造滿足您嚴格要求的定制設(shè)計反射鏡。NTT-AT公司將推薦正確反映用戶規(guī)格的**設(shè)計。