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橢偏儀

直接聯(lián)系

杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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562

產(chǎn)品介紹

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。波長(zhǎng)范圍200-900nm。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

集成的精確測(cè)量系統(tǒng)

SpecEl由一個(gè)集成的光源，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜，分辨率0.1nm，測(cè)量時(shí)間5-15秒，并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。

配置說明

波長(zhǎng)范圍:	380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選)
光學(xué)分辨率:	4.0 nm FWHM
測(cè)量精度:	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:	70°
膜厚:	單透明膜1-5000 nm
光點(diǎn)尺寸:	2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選)
采樣時(shí)間:	3-15s (*小)
動(dòng)態(tài)記錄:	3 seconds
機(jī)械公差 (height):	+/- 1.5 mm，角度 +/- 1.0°
膜層數(shù):	至多32層
參考:	不用

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橢偏儀

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集成的精確測(cè)量系統(tǒng)

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