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OLS5000 3D測量激光顯微鏡可以精確地測量亞微米級的表面形狀和粗糙度。圖像采集速度比我們之前的型號OLS4100快四倍，大大提高了效率。

優(yōu)異的平面分辨率

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(tǒng)（彩色成像光學系統(tǒng)和激光共焦光學系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。405nm紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕

捉到傳統(tǒng)光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細紋理和缺陷。

專用LEXT物鏡

我們的專用LEXT物鏡系列近期新增了提升測量性能的長工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡。所有專用LEXT物鏡的測量性能均可獲得保證。

4K掃描技術(shù)—檢測陡峭斜面和近納米級臺階的形貌

4K 掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是傳統(tǒng)機型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無需圖像處理就能檢測幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺階。

可準確測量高達87.5° 的大角度斜面。

快速、精確的測量——PEAK算法

OLS5000 3D測量激光顯微鏡采用了用于 3D 數(shù)據(jù)構(gòu)建的 PEAK 算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時間。

VLSI 標準樣品/ 80nm臺階 (MPLFLN10XLEXT)

簡單分析

簡單分析功能可僅在指定測量范圍內(nèi)測量臺階、線寬、表面粗糙度和體積。自動檢測測量結(jié)果變動的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測量結(jié)果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。

擴展架—可檢測**210毫米高度的樣品

載物臺上可放置**高度210毫米的樣品。重復性和準確性等測量性能均確保與標準機臺相同。