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Scanning Microwave Impedance Microscopy，簡(jiǎn)稱為sMIM，掃描微波阻抗顯微鏡，讓您的AFM成為專業(yè)的電學(xué)顯微鏡！

50nm超高分辨率，~100nm內(nèi)部電學(xué)探測(cè)，導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的廣泛適用度，為您提供電導(dǎo)率、介電常數(shù)、摻雜濃度納米級(jí)高靈敏度電學(xué)表征成像的解決方案。

Scan Wave™ 可應(yīng)用于多種領(lǐng)域材料的研究和發(fā)展：微電子材料，鐵電材料，工業(yè)材料，以及石墨烯、碳納米管，2D半導(dǎo)體、納米材料等新星材料等。

獨(dú)立掃描模塊，包括微波信號(hào)發(fā)生器、探針干涉模塊、自主**同軸屏蔽探針、以及微波近場(chǎng)軟件，可應(yīng)用于各種AFM平臺(tái)。

特殊MEMS結(jié)構(gòu)探針，有效避免散雜磁場(chǎng)的干擾

·專業(yè)多功能自由切換電學(xué)顯微鏡測(cè)試功能體驗(yàn)

sMIM-C成像：介電常數(shù)、電容變化；

sMIM-R成像：電導(dǎo)率、電阻率變化；

dC/dV 振幅：載流子濃度；

dC/dV 相位：載流子類型+/- ；

dR/dV 振幅：相關(guān)損失系數(shù)；

dR/dV 相位：相關(guān)損失系數(shù)

·高精度電學(xué)測(cè)試，50nm分辨率；

·工業(yè)級(jí)高靈敏度、低噪音，“Hard stuff”材料電學(xué)測(cè)試不再是難題；

·可實(shí)現(xiàn)表面下成像、檢測(cè)（>100nm)

·不同材料同步測(cè)量：導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體、電介質(zhì)都可以實(shí)現(xiàn)，不同的材料甚至分類都可以 在一次掃描中觀測(cè)。

·簡(jiǎn)易操作：不需要樣品特別處理，不需要將樣品放置在導(dǎo)電或電流中，人性化軟件設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單。

·接觸和非接觸模式多種掃描模式：即使在做力曲線，只要你想實(shí)現(xiàn)，就可以獲得電學(xué)數(shù)據(jù)；