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DHM VS 白光干涉儀WLI | DHM VS 共聚焦激光掃描顯微鏡 | DHM VS 接觸式表面輪廓儀 | ||||||
2 點主要區(qū)別: 1、 DHM®相干長度是400μm,而WLI只有15μm。實際上,這意味著與DHM®聚焦比得上標準的光學顯微鏡。相反,使用WLI,用戶需要搜索條紋,傾斜樣本使樣本在這個表面小范圍內(nèi)測量。 2、 DHM®是一個更靈活的儀器,因為它使用物鏡通過玻璃或者浸入式從光學顯微鏡測量。WLI要求特定的干涉儀物鏡有限定且復雜的玻璃補償。 | 2點主要區(qū)別: 1、 DHM®垂直分辨率并不依賴于放大倍數(shù),即顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑(NA)。與此相反,CLSM的垂直分辨率依賴于焦點的深度,而其會降低物鏡的NA。 2、 DHM®垂直分辨率達到亞納米精度,而CLSM使用高NA物鏡對樣品形貌*終的垂直分辨率分辨率只是幾納米。 | 主要區(qū)別: 除了相比任何掃描方法的優(yōu)勢外,DHM®是一個非接觸式光學表面光度儀,由于非接觸方法可防止任何接觸損害。采用表面光潔度輪廓儀(如探針式輪廓儀和AFM)的測量,可能會因表面的彈性變形、探針拖動污垢或損壞的探針而受到影響。 | ||||||
Features | DHM | WLI | Features | DHM | CLSM | Features | DHM® | 輪廓儀 |
時間分辨測量 | √ | × | 時間分辨測量 | √ | × | 時間分辨率測量 | √ | × |
樣品設置,不需要傾斜樣品 | √ | × | 對曲率的數(shù)字補償有很大的深度 | √ | × | 快速篩選表面,尋找感興趣區(qū)域 | √ | × |
直觀聚焦的大垂直可視化范圍 | √ | × | 可拆卸和靈活的儀表頭 | √ | × | 通過玻璃和浸入式測量 | √ | × |
用標準光學顯微鏡對玻璃進行測量 | √ | × | 非接觸、無損方法 | √ | × | |||
可拆卸和靈活的儀表頭 | √ | × |
參數(shù) | ||
DHM型號 | T1000 | T2100 |
激光源數(shù)量 | 1 | 2 |
工作波長(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm |
激光波長穩(wěn)定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
樣品臺 | 手動或電動 XYZ 三軸樣品臺,**移動范圍 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
物鏡 | 放大倍數(shù) 1.25x 至 100x,可選標準物鏡、高NA值物鏡、蓋玻片矯正物鏡、長工作距物鏡、水鏡、油鏡等 | |
電腦 | Dell**工作站,Intel® 多核處理器,高性能顯卡針對對 DHM®優(yōu)化配置,*小21寸顯示器 | |
專用軟件 | Koala專用數(shù)據(jù)采集分析軟件,基于C++ 和 .NET 附加專用分析軟件供不同應用分析(MEMS Analysis Tool,Cell Analysis Tool,Reflectometry Analysis) | |
性能 | ||
測量模式 | 單激光波長 666 nm | 雙激光合成波長8 μm |
可用該測量模式的DHM型號 | T1000, T2100 | T2100 |
測量精度[nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
縱向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
測量重復性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
動態(tài)可測縱向范圍 | **500 μm 4 | **500 μm 4 |
**可測臺階高度 | **1.0 μm 4 | **7.0 μm 4 |
**3.5 μm 4 | **22 μm 5 | |
垂直校準 | 由干涉濾光片決定,范圍±0.1 nm | |
圖像采集時間 | 標準500 μs (*快可選10μs) | |
圖像采集速率 | 標準30幀/秒1024x1024像素(*快可選1000幀/秒) | |
實時重建速率 | 標準25 幀/秒1024x1024像素(*快可選 100 幀/秒) | |
橫向分辨率 | 由所選物鏡決定,** 300 nm | |
視場 | 由所選物鏡決定,范圍從 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
工作距 | **50倍于景深 (由所選物鏡決定) | |
樣品照明 | *低1μW/cm2 |
TH-F120
BL-GHX-VK
ParticleX TC
觀世
在線濁度計
SuperSEM
CELL PAT
FS500全譜直讀光譜儀
OES1000
在線折光儀PRB21
蜂鳥10X42