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Quantus HP100高壓氣體光譜分析儀

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應(yīng)用：

用于半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體檢漏，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點(diǎn)探測(cè)（Endpoint）。

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Quantus HP100高壓氣體光譜分析儀

英福康（廣州）真空儀器有限公司

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