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等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

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杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司

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等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測量，通過高級過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3ms就可以獲得測量結(jié)果。

特點(diǎn)

1、光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)

2、光譜范圍 200-1100nm

3、快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法

Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構(gòu)建模塊過程控制。

隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能。可選的波長發(fā)生器（可以單獨(dú)購買）用于類型確認(rèn)，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過程控制信息。

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等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

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