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NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備。既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表,采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計特點(diǎn),彌補(bǔ)兩種模式的局限,發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學(xué)非接觸式有速度快,直接三維成象,不破壞樣品等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷,制樣簡單,測量材料廣泛。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究。
三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。
測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高,穩(wěn)定性好,材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面,包括透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量
6、微電子表面分析和MEMS表征
輪廓儀的主要特點(diǎn):
高精度
**的縱向分辨率:0.1 nm ( 接觸式);2 nm(光學(xué)非接觸式)
對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
沒有機(jī)械過濾
寬闊的垂直測量范圍
多種選擇光學(xué)頭及接觸式
圖像;縫合;技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
透明,不透明,反射光強(qiáng)等多種材料
垂直臺階,高寬深比,隆起,孔洞
脆性的材料,軟材料,柔性材料表面
尖銳的,堅硬的,磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
白光光源,人體安全設(shè)計,長壽命白光LED 免維護(hù)。可以用于各種環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合
接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,三維掃描范圍從10um X 10um到500um X 500um。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍
君子蘭葉子表面
城市綠化帶灌木葉子表面