PC/PCO系列—二氧化碳純化器

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳

工藝介紹：

PC系列采用HPC特有純化材料，通過吸附工序，深度脫除氣體中的。上表中雜質(zhì)O2、H2O、H2、CO、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機(jī)物Corg、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。多個(gè)吸附器交替吸附、再生，實(shí)現(xiàn)對(duì)原料氣體的連續(xù)純化。

PC系列獨(dú)立氣體純化系統(tǒng)通過現(xiàn)場(chǎng)原位再生和先進(jìn)的技術(shù)，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脫除CO2中的污染雜質(zhì)，滿足客戶現(xiàn)場(chǎng)需求.

• PCO系列氣體首先通過高溫催化氧化工序，將氣體中的CH4、還原性雜質(zhì)與O2反應(yīng)轉(zhuǎn)化為H2O和CO2；

• 氣體通過多柱吸附工序深度脫除氣體中的CH4、O2、H2O、H2、CO、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機(jī)物Corg、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)；

• 吸附柱飽和后可通還原性氣體加熱再生，反復(fù)使用；

• 多柱交替吸附、再生，可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的連續(xù)純化。