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金鎧儀器CVD反應(yīng)裝置

直接聯(lián)系

金鎧儀器(大連)有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

506

產(chǎn)品介紹

裝置概述

本裝置是CVD反應(yīng)裝置,擁有四個(gè)氣路,兩套獨(dú)立的氣路控制單元,加熱爐安裝在裝置的側(cè)面上下安裝,精密的儀表控制加熱爐爐溫和氣體流量,具有可靠性高,操作簡(jiǎn)便,結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn)。該裝置可用于化學(xué)沉積及與CVD特點(diǎn)相似的材料制備過程。

技術(shù)參數(shù)

- 氣路:1-4(任選);

- 加熱爐:1-2(任選),加熱爐溫度Max:1000 ℃

- 氣體質(zhì)量流量器:0 - 500 mL/min(任選);

- 工作壓力:常壓;

- 溫度控制:± 0.5 ℃;

- 計(jì)算機(jī)控制(任選)。

產(chǎn)品咨詢

金鎧儀器CVD反應(yīng)裝置

金鎧儀器(大連)有限公司

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金鎧儀器CVD反應(yīng)裝置 - 506
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