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YAMATO光刻膠固化爐

直接聯(lián)系

浚和(上海)儀器有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

585

產(chǎn)品介紹

性 能 (依 JTM 規(guī)格 )

使用溫度范圍 : 室溫 +50~50 0℃

溫度調(diào)節(jié)精度: ±0. 5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)

溫度分布精度: ±5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)

JTM 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定點 根據(jù)有效尺寸 1/6 處,含槽內(nèi)中心點共測量9點

運行: 程序運行(升溫 ,恒溫,降溫 ,定時 )

定時機能 : 1min~99h59min,100~999h,

升溫速率 : ≤40min , (150~450℃≥7.5℃/min ,全程平均 )

潔凈度 : 溫度恒定時 100 級

氧濃度 : 20 ppm 以下

真空度 : 100Pa 以下

真空到達(dá)時間 : 約15min

工作狀態(tài)指示:觸摸屏上有工作過程(抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進(jìn)入中 -結(jié)束)

構(gòu) 造

外裝材質(zhì) : 冷扎彩鋼板 ,表面噴塑

內(nèi)裝承壓體材質(zhì) : SUS 316不銹鋼板 ,

斷熱材 : 硅酸鋁棉板

加熱器 : 鎧裝不銹鋼加熱管 380V 4.0KwX3=12Kw

加熱板220V 300 w X 14 = 4.2Kw

組合式送風(fēng)機 : 離心風(fēng)葉 φ230 X 130-1個,風(fēng)量 L=1800m3/h

變頻調(diào)速電機380V (1450/min轉(zhuǎn))

N2噴管 : N2噴頭

水冷器 : SUS盤管換熱器

過濾網(wǎng) : 耐高溫效過濾網(wǎng)HEPA( 過濾率0.3μm粒子99.9995%以上 )

門 : 單門正前面 ,門開口W660×H 660

外形尺寸 : 本體 W1150 ×D1215 ×H1697(設(shè)置時、以及突起物除外)

內(nèi)室尺寸 : W600×D600×H600mm

容積 : 216 L

棚受段數(shù) : 17段/30mm (高度方向均分)

棚板數(shù)量 : 2枚

N2外接進(jìn)氣接頭 : 快換接頭φ10mm 一個 。

冷卻水接頭 : 快換接頭φ10mm和φ16mm各一個 。

測試孔 : 左側(cè) 1個 KF16 溫度分布精測試口、2個內(nèi)螺紋1/4的接頭,用于氧濃度和潔凈度的檢測 。

電磁閥 : 控制真空、 N2 、水的通斷時序。

重量 : 320g

電 源 :AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

計裝

溫度調(diào)節(jié)器 : 液晶觸摸屏加PLC, PID控制,液晶顯示,觸摸按鍵設(shè)置。

溫度傳感器 : K型熱電偶4支

壓力控制儀 : 數(shù)字式

壓力變送器 : 相對值壓力變送器

壓差計 : 用于測量內(nèi)槽與空調(diào)間之的壓差以此為依據(jù)來判定過濾器是否需清潔。

變頻 器 : 用與調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)速(由觸摸屏設(shè)定風(fēng)機頻率)

玻璃轉(zhuǎn)子流量計 : a.300L/min用于快速并保證槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下 。

b.15-25L/min用于維持槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下,另加預(yù)熱器保證進(jìn)入槽內(nèi)N2溫度在槽內(nèi)設(shè)定溫度,不 干擾槽內(nèi)的均勻度。

氧濃度分析儀 : 檢測槽內(nèi)氧濃度,20ppm以下在加熱,

真空泵 : 愛發(fā)科雙級有油旋片式真空泵

溫度過升防制器 : 用于溫度異常過升的防止,

電磁閥 : 用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開閉。

強制門鎖緊 : 2處

保護(hù)裝置

漏電保護(hù)開關(guān) : 本體 380V 漏電保護(hù)開關(guān)

漏電,短路,過電流保護(hù)

額定感度電流 30mA

過熱防止回路 : 溫度異常過升時,加熱器電源斷開、電機風(fēng)葉動作,并報警

送風(fēng)機電機: 當(dāng)電機過負(fù)荷時、加熱器電源斷開保護(hù)回路,并報警

N2異常 : 氮氣流量不足,加熱停止,并報警

冷卻水異常 : 流量不足,報警

門鎖 : 工作時門自動鎖

門開關(guān) : 門未關(guān)閉好,機器不會啟動,按啟動鍵,給出報警。

異常顯示 : 當(dāng)上述異常發(fā)生時、觸摸屏上報警提示框異常顯示故障內(nèi)容 ,蜂鳴器響。

產(chǎn)品咨詢

YAMATO光刻膠固化爐

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