99&

1700CVD系統(tǒng)

直接聯(lián)系

上海煜志科技有限公司（杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司）

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

352

產(chǎn)品介紹

簡(jiǎn)介

YG-1706I-CVD系統(tǒng)由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)、內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)及真空系統(tǒng)等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)到5x10-1Torr；內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)管內(nèi)的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長(zhǎng)等場(chǎng)所。同時(shí)煜志良好的售后服務(wù)，使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)

YG-1706 真空管式爐	雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好加熱元件采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒，表面負(fù)荷高，大大提高了其使用壽命
電壓	AC220V 50Hz/60Hz；功率：6kW
爐管	采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經(jīng)久耐用，不易斷裂尺寸：Φ40/60/80*1000mm 4個(gè)氧化鋁管堵
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個(gè)密封硅膠圈等
加熱系統(tǒng)	加熱元件：6根U型硅鉬棒加熱區(qū)長(zhǎng)度：280mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100mm 工作溫度：≤1600℃ **溫度：1650℃ 升溫速率：≤10℃/min
溫控系統(tǒng)	溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 50段升降溫程序測(cè)溫元件：B型雙鉑銠熱電偶恒溫精度：±1℃
三路浮子混氣系統(tǒng)	三路浮子流量計(jì)配置在移動(dòng)工作臺(tái)上，可以同時(shí)通入三路不同的氣體；內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用聚四氟乙烯軟管，耐溫耐腐；每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥；流量規(guī)格：0.3-3L/min；控制精度：±5%.
低真空系統(tǒng)	采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-¹Torr 不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性
內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng)	測(cè)溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心法蘭密封，保證爐管的密封性測(cè)溫元件：B型雙鉑銠熱電偶
尺寸	高溫爐：660580910mm 混氣移動(dòng)工作臺(tái)：800540720mm
可選配件	HQZ混氣系統(tǒng)，中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，剛玉管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機(jī)等。

可根據(jù)客戶(hù)要求定制！

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