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1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

直接聯(lián)系

上海煜志科技有限公司（杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司）

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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413

產(chǎn)品介紹

簡(jiǎn)介

1200℃加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長(zhǎng)雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐，多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，高真空分子泵系統(tǒng)等組成。可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)，使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)	整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu) 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好雙層殼體結(jié)構(gòu)，內(nèi)置風(fēng)冷層，有效降低外殼表面溫度爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料
電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：8kW
爐管	高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極??；尺寸：Φ60/80/100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統(tǒng)	加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用；加熱區(qū)長(zhǎng)度：350mm2；恒溫區(qū)長(zhǎng)度：450mm；工作溫度：≤1150℃；溫度：1200℃；升溫速率：推薦≤10℃/min；快升溫速度30℃/min.
溫控系統(tǒng)	日本富士?jī)x表，64段控溫程序，可分步、分段；測(cè)溫元件：N型熱電偶；控溫精度：±1℃
混氣系統(tǒng)	三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì)，流量規(guī)格0.3-3L/min
真空系統(tǒng)	采用雙極旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa 復(fù)合真空計(jì)顯示，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/s，風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu) 配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥
可選配件	冷水機(jī)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件等
保修期	整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外）

可根據(jù)客戶要求定制！

特色與優(yōu)勢(shì)

1.加長(zhǎng)雙溫區(qū)爐體，大大加長(zhǎng)了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性；

2.開啟式爐蓋設(shè)置，降低沉積溫度、加快沉積速度；

3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計(jì)，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；

4.雙極旋片真空泵+分子泵，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa；

5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，可滿足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求；

6.內(nèi)置S型熱電偶，可快速、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物料的溫度變化情況；

7.尾氣活性炭過(guò)濾處理，減少反應(yīng)氣體排放對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。

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