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1200低真空CVD系統(tǒng)

直接聯(lián)系

上海煜志科技有限公司（杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司）

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號

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476

產(chǎn)品介紹

簡介

1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動式管式實驗電爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發(fā)的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)	整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu)；日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好；爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn)；爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻；支撐兩端安裝油壓緩沖器；爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
尺寸重量	12406001340mm；170kg
電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管	高純石英管，高溫下化學穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極??；尺寸：Φ60/80/100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空；一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷；可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐；包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合。
加熱系統(tǒng)	加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負荷高、經(jīng)久耐用；加熱區(qū)長度：300mm；恒溫區(qū)長度：150mm；工作溫度：≤1150℃； *溫度：1200℃；升溫速率：推薦≤10℃/min，快升溫速度30℃/min
溫控系統(tǒng)	日本富士儀表，64段控溫程序，可分步、分段；測溫元件：N型熱電偶；控溫精度：±1℃
混氣系統(tǒng)	三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系統(tǒng)	采用雙極旋片真空泵，真空度可達10Pa
可選配件	高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件
保修期	整機一年保修（相關(guān)耗材除外）

可根據(jù)客戶要求定制！

特色與優(yōu)勢

1.滑動式爐體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速升降溫；

2.開啟式爐蓋設(shè)置，降低沉積溫度、加快沉積速度；

3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；

4.雙極旋片真空泵+分子泵，實現(xiàn)對真空度的不同要求，極限真空可達4.0*10^-4Pa。

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