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立體開啟式加熱爐

用途：

適用于CVD工藝或其他熱處理工藝；如ZNO納米結(jié)構(gòu)可控生長、氮化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等

特點(diǎn)：

★采用高級(jí)耐火纖維材料，隔熱好、升溫快、蓄熱少、節(jié)能，爐體表面溫度≤60℃

★取放物料方便快捷，只需一支卡箍便可完成密封，簡化法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能

★微電腦控制，可編制升溫曲線，自動(dòng)升溫、保溫、降溫與控制升溫速率。具有P.I.D調(diào)節(jié)自整定、自學(xué)習(xí)功能

★配置超溫、傳感器故障等多種邏輯保護(hù)功能，安全可靠

★可根據(jù)客戶需求升級(jí)配置計(jì)算機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)100%儀表功能操作，并以曲線及數(shù)據(jù)表格形式記錄存儲(chǔ)實(shí)時(shí)溫度曲線、歷史溫度曲線及報(bào)警記錄參數(shù)

★爐體開啟式結(jié)構(gòu)，爐膛可向后翻轉(zhuǎn)110度，易于取放工作管

★易磨損部位采用硬化技術(shù)處理，使?fàn)t材經(jīng)久耐用

★爐管兩端裝配不銹鋼雙環(huán)密封法蘭，保障爐管的氣密性、保證真空以及氣氛環(huán)境

★爐管卡箍式法蘭接口，安裝、取放物料方便快捷，安全、密封

★可選擇真空或氣氛保護(hù)等試驗(yàn)環(huán)境

技術(shù)參數(shù)：