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微波能化學氣相沉積系統(tǒng),WBQXCJ-4,VKTR

直接聯(lián)系

維克特銳(北京)科技有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關注度:

359

產(chǎn)品介紹

微波材料學工作站--微波能化學氣相沉積系統(tǒng)

主要用途:

主要為應用在半導體大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域

產(chǎn)品特點:

操作便捷:氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結構,使取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作,取消了復雜的法蘭安裝過程,減少了安裝造成的損壞

多功能:3種加熱方式可選可變:純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱;適應包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理

**開發(fā)的微波場專用傳感器,精準控溫

安全:**采用防止泄漏的四級聯(lián)鎖的保護屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設計,多重防泄漏保護

*標配裝有專業(yè)微波抑制器

*內(nèi)置微波泄漏傳感器

節(jié)能:使用壽命長:磁控管微波加熱,避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題,也避免了因加熱元件損壞而造成的時間、實驗進度、維修費用等各種損失

采用無級可調、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源,確保設備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時間運行

嵌入式微機一體化溫度控制系統(tǒng)實現(xiàn)穩(wěn)定性控溫

無須烘爐過程:爐腔整體自身發(fā)熱,加熱均勻

微波能量即開即有無熱慣性,易于控制溫度

爐體配有自動冷卻風扇

保護管采用耐高溫合金管,氣管采用卡套或VCR接口,安裝簡便

配有萬向輪調節(jié)底腳,方便移動和固定

選配功能:

1.多溫區(qū)獨立加熱模塊:型號后面加D   

多個不同溫區(qū)獨立加熱、獨立控制,(標配 2 個溫區(qū))

◆兩個以上溫區(qū)可額外選配

◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成

加熱區(qū)、恒溫區(qū)長度均可調。

2.可根據(jù)用戶需求定制立式或其他尺寸

技術參數(shù):

型號/model

WBQXCJ-4

可加熱材料

非易燃易爆的任何材料

微波頻率

2.45GHZ±50MHz

加熱方式

純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱

**功率/ KW(連續(xù)、可調)

4

樣品腔尺寸/mm

標配Φ45mm;長度 1200mm??筛鶕?jù)用戶需求定制

樣品腔(材質)

石英管

剛玉管

控溫范圍/

室溫-1200

室溫-1500

溫度測試元件

微波場專用傳感器

溫度分辨率/

0.1

控溫精度/

1200℃以下±1;1200℃以上±2

溫度偏差/

溫度穩(wěn)定波動度/

冷卻方式

標配風冷(可選配水冷)

恒溫區(qū)長度/mm

標配100 可根據(jù)用戶需求定制

升溫速率(標配)

0200/min

任意設定,可編程、分段加熱

溫度控制方式

10段可設工藝參數(shù),7寸觸摸屏操作,帶數(shù)據(jù)存儲功能;提供手動、自動、恒溫控制模式,曲線實時顯示

控制氣體

控制氣體:H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選

流量控制

標配 2 套質量流量控制器:七星華創(chuàng)(真空保護閥門后置,匹配真空模式);精度:0.8%

**耐壓

1MPa;控制響應時間:10ms

真空系統(tǒng)真空泵

RVP2008;壓力范圍:10 -3 Torr~760 Torr

**抽速:8.5 m 3/h

真空計

數(shù)顯真空計:1atm-10 -1 Pa

標配

質量流量自動控制系統(tǒng)配備控制計算機及控制軟件,可以內(nèi)置實時顯示和保存生長參數(shù)

氣路其他配置

氣柜、氣路及閥門等

端口

不銹鋼 KF50 法蘭接口

電源電壓(V

220

微波泄漏量/mW/2

0.4

外型尺寸(長高)/mm

1500×750×1550

產(chǎn)品咨詢

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