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技 術(shù) 參 數(shù)

稀釋氣的質(zhì)量流量控制器

0～5L/min(可選：10L/min，20L/min)

源氣質(zhì)量流量控制器

0-100ml/min(可選：50ml/min，1L/min)

精度

±1.0% S.P.

稀釋比例

3.5:1～950:1(標(biāo)準(zhǔn)），可選稀釋比10000倍

流量重復(fù)性

＜0.5%

配氣不確定度

＜1%

預(yù)熱時(shí)間

30min

自動(dòng)調(diào)零

預(yù)熱結(jié)束后自動(dòng)調(diào)整MFC的零點(diǎn)

源氣進(jìn)口

規(guī)格1\8"一個(gè)

稀釋氣進(jìn)口

規(guī)格1\4"一個(gè)

標(biāo)準(zhǔn)氣出口

規(guī)格1\8"一個(gè)

旁通出口

規(guī)格1\4"一個(gè)

操作顯示

液晶大屏幕，內(nèi)置軟件，觸屏操作

儀器電源

220VAC

使用環(huán)境

5℃～45℃

外型尺寸

427-380-185mm

儀器重量

約5kg

選配件：

流路全系統(tǒng)惰性選項(xiàng)：管線、接頭和標(biāo)準(zhǔn)氣經(jīng)過(guò)的部件都硅烷化處理，可以滿足硫化物等極性VOC的稀釋。