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Semiconsoft MProbe 膜厚測(cè)試儀

MProbe 讓 你 成 為 測(cè) 量 專 家 ！

大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測(cè)量：氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導(dǎo)體(Si， aSi，polySi)、硬涂層(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (聚對(duì)二甲苯，PMMA，聚酰胺)， 薄金屬薄膜等。

厚度和其他參數(shù)的均勻性測(cè)量對(duì)于許多應(yīng)用程序是很重要的。

映射選項(xiàng)包括:

1.XY電動(dòng)平臺(tái)(150，200和300毫米游程)

2.固體19 x19"鋁合金平臺(tái)

3.探頭架(反射/透射測(cè)量均可)與光學(xué)系統(tǒng)

4.調(diào)節(jié)器

5.支持軟件(映射配方，等等)。