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XTC/3薄膜鍍層控制儀

直接聯(lián)系

英?？担◤V州）真空儀器有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號

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850

產(chǎn)品介紹

簡介

先進(jìn)，實(shí)用的單層和多層鍍膜速率控制

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3

裝備有ModeLock¹**技術(shù)，提供驗(yàn)證的模式跳躍防止功能，可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀，可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度，具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力，容易安裝，和極高的可靠性，可確保高的生產(chǎn)率.

特點(diǎn)

■ 有單膜層和多膜層型號

■ ModeLock**技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差

■ 支持INFICON Crystal 12^™， CrystalSix^®和雙傳感器自動晶體切換，用于**生產(chǎn)率

■ XTC/3M多膜層型號支持多至99個(gè)工藝過程， 999個(gè)膜層， 32個(gè)鍍層， 2個(gè)傳感器和兩個(gè)源

■ XTC/3S單膜層型號支持多至9個(gè)鍍層， 2個(gè)傳感器和兩個(gè)源

■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■ 為便于檢索，可指定獨(dú)特的和描述性的薄膜與過程名稱

■ 有以太網(wǎng)連接件

■ 單獨(dú)運(yùn)行(無需計(jì)算機(jī))或用PC運(yùn)行的Windows^®軟件選件

■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)

應(yīng)用：

集成電路執(zhí)照

光學(xué)鍍膜

濺射鍍膜

薄膜太陽能電池制造

OLED制造

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產(chǎn)品咨詢

XTC/3薄膜鍍層控制儀

英福康（廣州）真空儀器有限公司

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