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SKY® 電 容 膜 片 真 空 計(jì)

CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的**選擇. 為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子

過(guò)程要求的性能， 將 CDG100D 真空計(jì)的溫度控制于100°C. 全量程范圍從100 毫乇 至 1000 乇， 配有全

部常用的法蘭型式和 fieldbus 接口， 和提供線性的 0 至 10 伏與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào). INFICON 電容

真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好， 從大氣壓恢復(fù)快， 預(yù)熱時(shí)

間短和超長(zhǎng)的使用壽命. INFICON CDG 是高質(zhì)量， 成本效益好的壓強(qiáng)傳感器， 用于半導(dǎo)體， 等離子和各項(xiàng)

要求高的真空應(yīng)用中.

優(yōu)點(diǎn)

■ 低 CoO (擁有成本)， 50% 快速預(yù)熱， 能效高， 功耗低

■ 易整合于系統(tǒng)中， 寬量程范圍， 法蘭和接口， 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)帶有兩個(gè)設(shè)點(diǎn)

■ 簡(jiǎn)易的一鍵操作或遙控訊號(hào)調(diào)零指令， 零點(diǎn)偏離可調(diào)

■ 診斷端口用于快速檢修和維護(hù)

■ 兩年保用期， 采用先進(jìn)的加熱概念和傳感器保護(hù)， 真空計(jì)使用壽命長(zhǎng)

■ 由于**的訊號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性， 即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長(zhǎng)期使用，

無(wú)需重新校準(zhǔn)

■ 承諾和標(biāo)準(zhǔn): CE， EN， UL， SEMI， RoHS

用途

■ 刻蝕， PVD， CVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

■ 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

■ 需要真空計(jì)保護(hù)的常用薄膜和真空過(guò)程