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C11627-01納米膜厚測(cè)量?jī)x系列

直接聯(lián)系

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國(guó)）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

470

產(chǎn)品介紹

C11627-01 納米膜厚測(cè)量?jī)x系列

特性

  • 無參照物工作

  • 尺寸緊湊，節(jié)省空間

  • 高速、高準(zhǔn)確度

  • 不整平薄膜精確測(cè)量

  • 分析光學(xué)常數(shù)（n，k）

  • 可外部控制

參數(shù)

型號(hào)C11627-01
可測(cè)膜厚范圍（玻璃）20 nm to 50 μm*1
測(cè)量可重復(fù)性（玻璃）0.02 nm*2 *3
測(cè)量準(zhǔn)確度（玻璃）±0.4 %*3 *4
光源LED
測(cè)量波長(zhǎng)420 nm to 720 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距離10 mm*3
可測(cè)層數(shù)*多10層
分析FFT 分析，擬合分析，光學(xué)常數(shù)分析
測(cè)量時(shí)間19 ms/點(diǎn)*5
光纖接口形狀FC
外部控制功能RS-232C，Ethernet
電源AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz
功耗70W

*1：以 SiO2折射率1.5來轉(zhuǎn)換

*2：測(cè)量400 nm 厚SiO2 薄膜的標(biāo)準(zhǔn)偏差

*3：取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率

*4：可保證的測(cè)量范圍列在VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證書中

*5：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間

產(chǎn)品咨詢

C11627-01納米膜厚測(cè)量?jī)x系列

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國(guó)）有限公司

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C11627-01納米膜厚測(cè)量?jī)x系列 - 470
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