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C10178-01納米膜厚測量儀系列

直接聯(lián)系

濱松光子學商貿(mào)（中國）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

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448

產(chǎn)品介紹

C10178-01 納米膜厚測量儀系列

特性

參數(shù)

型號	C10178-01
測量模型	標準型（通用測量）
可測膜厚范圍（玻璃）	20 nm to 50 μm^*1
測量可重復性（玻璃）	0.01 nm^{2 3}
測量準確度（玻璃）	±0.4 %^{3 4}
光源	鹵素燈
測量波長	400 nm to 1100 nm
光斑尺寸	Approx. φ1 mm^*3
工作距離	10 mm^*3
可測層數(shù)	*多10層
分析	FFT 分析，擬合分析，光學常數(shù)分析
測量時間	19 ms/點^*5
光纖接口形狀	φ12套筒型
外部控制功能	RS-232C，通過PIPE或Ethernet進行內(nèi)部軟件數(shù)據(jù)傳輸
接口	USB2.0
電源	AC100 V to 120 V/ AC200 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz
功耗	250W

*1：以 SiO2折射率1.5來轉(zhuǎn)換

*2：測量400 nm 厚SiO2 薄膜的標準偏差

*3：取決于所使用的光學系統(tǒng)或物鏡的放大率

*4：可保證的測量范圍列在VLSI標準測量保證書中

*5：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時間不包括分析時間

產(chǎn)品咨詢

C10178-01納米膜厚測量儀系列

濱松光子學商貿(mào)（中國）有限公司

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